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熱熔膠涂布機(jī)的使用操作方法:
(1) 首先將PUMP的電源插頭插入涂布機(jī)后面的電源插座。
(2) 將涂布機(jī)插頭插入110V的電源插座,然后按下[POWER]鍵。
(3) 設(shè)定旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速及時(shí)間,本機(jī)型為二段式加速的Spin Coating,右邊為第一段加速,左邊為第二加速。
(4) 依不同尺寸的基材,可更換不同的旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)做徒步的動(dòng)作。
(5) 按下[PUMP]鍵,此時(shí)旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)吸住基材,然后將光阻依螺旋狀從基材中心均勻且慢慢的往外涂開(kāi)至適當(dāng)?shù)牧?,在做光阻涂開(kāi)動(dòng)作時(shí)可先用氮?dú)鈱⑿D(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)周?chē)盎拇登瑑簟?br />
(6) 蓋上涂布機(jī)的保護(hù)蓋,以防止光阻濺出涂布機(jī)外。
(7) 按下[START]鍵,涂布機(jī)便開(kāi)始做涂布的動(dòng)作。
(8) 涂布完畢后,打開(kāi)保護(hù),按下[PUMP]鍵旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤(pán)會(huì)放開(kāi)基材,便可以將基材取出。
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